用途场景
规格参数
【产品概述】
TH521-02-20 | IV: 200V/20A | TH521-35-20 | IV: 3500V/20A | |
TH521-02-20C | IV: 200V/20A, CV: 10MHz, Qg | TH521-35-20C | IV: 3500V/20A, CV: 10MHz, Qg | |
TH521-02-200 | IV: 200V/200A | TH521-35-200 | IV: 3500V/200A | |
TH521-02-200C | IV: 200V/200A, CV: 10MHz, Qg | TH521-35-200C | IV: 3500V/200A, CV: 10MHz, Qg | |
TH521-02-600 | IV: 200V/600A | TH521-35-600 | IV: 3500V/600A | |
TH521-02-600C | IV: 200V/600A, CV: 10MHz, Qg | TH521-35-600C | IV: 3500V/600A, CV: 10MHz, Qg | |
TH521-02-1800 | IV: 200V/1800A | TH521-35-1800 | IV: 3500V/1800A | |
TH521-02-1800C | IV: 200V/1800A, CV: 10MHz, Qg | TH521-35-1800C | IV: 3500V/1800A, CV: 10MHz, Qg |
• TH521系列功率器件分析仪是一款用于电路设计的综合解决方案，可帮助电力电子电路设计人员选择适合自身应用的功率器件，让其电力电子产品发挥最大价值。它可以评测器件在不同工作条件下的所有相关参数，包括IV参数（击穿电压和导通电阻）、三端 FET电容、栅极电荷和功率损耗。用于电路设计的TH521系列功率器件分析仪具有完整的曲线追踪仪功能以及其他功能。
【应用】
• 半导体功率器件
二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析
• 半导体材料
晶圆切割、C-V特性分析
• 液晶材料
弹性常数分析、液晶切割
• 电容元件
电容器C-V特性测试及分析，电容式传感器测试分析
【技术参数】
MCSMU | |||
电压范围、分辨率和精度 | |||
电压量程 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度（% + mV + mV） | 最大电流 |
200mV | 200nV | ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) | 1A |
2V | 2μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 1A |
20V | 20μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 1A |
40V | 40μV | ±(0.06 + 3 + Io x 10) | 1A |
电流范围、分辨率和精度 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度（%+A+A） | 最高电压 |
10μA | 10pA | ±(0.06+ 1E-8 + Vo x 1E-10) | 30V |
100μA | 100pA | ±(0.06 + 2E-8 + Vo x 1E-9) | 30V |
1mA | 1nA | ±(0.06 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 30V |
10mA | 10nA | ±(0.06 + 2E-6 + Vo x 1E-7) | 30V |
100mA | 100nA | ±(0.06 + 2E-5 + Vo x 1E-6) | 30V |
1A | 1uA | ±(0.4 + 2E-4 + Vo x 1E-5) | 30V |
典型分辨率 | 6½位 | ||
最大电压 | ±30V | ||
最小电流 | 10pA | ||
脉冲最大占空比 | 5%（峰值超过100mA时） | ||
脉冲最小宽度 | 10μs | ||
脉冲最大宽度 | 100ms（峰值超过100mA时） | ||
直流最大电流 | ±100mA | ||
脉冲最大峰值 | ±1A | ||
脉冲最大基值 | ±50mA（峰值超过100mA时） | ||
HCSMU | |||
电压范围、分辨率和精度 | |||
电压量程 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度（% + mV + mV） | 最大电流 |
200mV | 200nV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.05) | 20A |
2V | 2μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 20A |
20V | 20μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 20A |
40V | 40μV | ±(0.06 + 3 + Io x 10) | 1A |
电流范围、分辨率和精度 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度（%+A+A） | 最高电压 |
10μA | 10pA | ±(0.06+ 1E-8 + Vo x 1E-10) | 40V |
100μA | 100pA | ±(0.06 + 2E-8 + Vo x 1E-9) | 40V |
1mA | 1nA | ±(0.06 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 40V |
10mA | 10nA | ±(0.06 + 2E-6 + Vo x 1E-7) | 40V |
100mA | 100nA | ±(0.06 + 2E-5 + Vo x 1E-6) | 40V |
1A | 1μA | ±(0.4 + 2E-4 + Vo x 1E-5) | 40V |
20A | 20μA | ±(0.4 + 2E-3+Vo x 1E-4) | 20V |
典型分辨率 | 6½位 | ||
最大电压 | ±40V | ||
最小电流 | 10pA | ||
脉冲最大占空比 | 1%（峰值超过1A时） | ||
脉冲最小宽度 | 50μs | ||
脉冲最大宽度 | 1ms（峰值超过1A时） | ||
直流最大电流 | ±1A | ||
脉冲最大峰值 | ±20A | ||
脉冲最大基值 | ±100mA（峰值超过1A时） | ||
MPSMU | |||
电压范围、分辨率和精度 | |||
电压量程 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度（% + mV + mV） | 最大电流 |
100mV | 100nV | ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) | 100mA |
1V | 1μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 100mA |
10V | 10μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 100mA |
100V | 100μV | ±(0.012 + 2.5 + Io x 10) | 20mA(≥40V) 50mA(≤40V) 100mA(≤20V) |
电流范围、分辨率和精度 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度（%+A+A） | 最高电压 |
10nA | 10fA | ±(0.1 + 1E-12 + Vo x 1E-14) | 100V |
100nA | 100fA | ±(0.05 + 2E-11 + Vo x 1E-13) | 100V |
1μA | 1pA | ±(0.05 + 1E-10 + Vo x 1E-12) | 100V |
10μA | 10pA | ±(0.04 + 2E-9 + Vo x 1E-11) | 100V |
100μA | 100pA | ±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-10) | 100V |
1mA | 1nA | ±(0.03 + 6E-8 + Vo x 1E-9) | 100V |
10mA | 10nA | ±(0.03 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 100V |
100mA | 100nA | ±(0.04 + 6E-6 + Vo x 1E-7) | 100V(≤20mA) 40V(≤50mA) 20V(≤100mA) |
典型分辨率 | 6½位 | ||
最大电压 | ±100V | ||
最小电流 | 10fA | ||
HVSMU | |||
电压范围、分辨率和精度 | |||
电压量程 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度±(%+mV) | 最大电流 |
200V | 200uV | ±(0.03+40) | 8mA |
500V | 500uV | ±(0.03+100) | 8mA |
1500V | 1.5mV | ±(0.03+300) | 8mA |
3500V | 3.5mV | ±(0.03+600) | 4mA |
电流范围、分辨率和精度 | 输出/测量分辨率 | 输出/测量精度（%+A+A） | 最高电压 |
10nA | 10fA | ±(0.1 + 1E-9 + Vo x 8E-12) | 3500V |
1μA | 1pA | ±(0.05 + 1E-9 + Vo x 8E-12) | 3500V |
100μA | 100pA | ±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-11) | 3500V |
10mA | 10nA | ±(0.03 + 2E-7+ Vo x 1E-9) | 1500V |
典型分辨率 | 6½位 | ||
最大电压 | ±3500V | ||
最小电流 | 10fA | ||
MFCMU | ||
频率 | 频率范围 | 1kHz~10MHz |
最小频率分辨率 | 1mHz | |
频率精度 | ±0.008% | |
AC电平 | 电平范围 | 0~1V |
分辨率 | 0.1mVrms | |
精度 | ±(10%*设定值+2mV) | |
DC偏置 | 范围 | 0~±25V |
分辨率 | 1mV | |
准确度 | 1%*设定电压+8mV | |
输出阻抗 | 100Ω | |
测试端配置 | 四端对 | |
测试时间 | 0.05plc~100plc(1plc=20ms) | |
电容 | 显示范围 | 0.00001pF~9.99999F |
最高准确度 | 0.1% | |
UHCU | |||
电压范围、分辨率和精度 | |||
电压量程 | 测量分辨率 | 输出分辨率 | 输出/测量精度±(%+mV) |
60V | 100μV | 200μV | ±(0.2+10) |
6V(仅测量) | 10μV | ------ | ------ |
电流范围、分辨率和精度 | 测量分辨率 | 输出分辨率 | 输出/测量精度（%+A+A） |
200A | 500μA | 1mA | ±(0.6 + 0.3 + 0.01*Vo) |
600A | 500μA | 1mA | ±(0.6 + 0.3 + 0.01*Vo) |
1800A | 2mA | 4mA | ±(0.8 + 0.9 + 0.02*Vo) |
脉冲最大占空比 | 0.4%（600A量程）；0.1%（1800A量程） | ||
脉冲最小宽度 | 10μs | ||
脉冲最大宽度 | 1ms（600A量程）；500μs（1800A量程） | ||
脉冲最大峰值 | 200A、600A、1800A | ||
脉冲分辨率 | 2μs | ||
HVMCU | ||||||
最大输出规格 | ||||||
＋3500V/4mA | ＋1500V/8mA | |||||
峰值输出规格 | ||||||
电压范围 | 峰值功率 | |||||
±2200V | 600W | |||||
±1500V | 900W | |||||
电压范围、分辨率、精度 | ||||||
电压范围 | 设置分辨率 | 测量分辨率 | 设置精度1,2,3±（%+V） | 测量精度1,2±（%+V） | ||
±2200V | 3mV | 3mV | ±（5+20） | ±（0.8+1.8） | ||
±1500V | 1.5mV | 3mV | ±（5+20） | ±（0.8+1.8） | ||
1：测量精度：±（读数的 6% + 固定电压偏移） 2：精度定义条件：在 1.1 A 档位和 2.5 A 档位下，以 100 μs 脉冲测试；在 100 mA 档位下，以 1 ms 脉冲 3：设定精度：在开路条件下定义 | ||||||
电流范围、分辨率、精度1，2 | ||||||
电流范围 | 测量分辨率 | 测量精度1±（%+A+A） | ||||
±2.5A | 4μA | ±（0.9+4E-3+Vo×3E-7） | ||||
±1.1A | 4μA | ±（0.9+4E-3+Vo×3E-7） | ||||
±110mA | 200nA | ±（0.9+2E-4+Vo×3E-7） | ||||
1：当电流大于 1.1 A 时，厂家提供额外的性能说明或参数限制。 2：相关的精度或特性是在 对 20 个采样点取平均值 的条件下有效。 | ||||||
脉宽和分辨率 | ||||||
输出范围 | 脉宽 | 分辨率 | ||||
1500V/2.5A | 10μs-100μs | 2μs | ||||
2200V/1.1A | 10μs-100μs | 2μs | ||||
2200V/110mA | 10μs-1ms | 2μs | ||||
补充特性（HVMCU充电电容0.22μF） | ||||||
输出电阻范围 | 标称值 | |||||
1500V/2.5A | 600Ω | |||||
2200V/1.1A | 2000Ω | |||||
2200V/110mA | 20000Ω | |||||
HPSMU | |||
电压范围、分辨率和精度 | |||
电压量程 | 输出 / 测量分辨率 | 输出 / 测量精度（% + mV + mV） | 最大电流 |
200mV | 100nV | ±(0.06 + 0.14 + Io x 0.05) | 1A |
2V | 1μV | ±(0.06 + 0.6 + Io x 0.5) | 1A |
20V | 10μV | ±(0.06 + 3 + Io x 5) | 1A |
200V | 100μV | ±(0.012 + 2.5 + Io x 10) | 50mA |
电流范围、分辨率和精度 | 输出 / 测量分辨率 | 输出 / 测量精度（%+A+A） | 最高电压 |
10nA | 10fA | ±(0.1 + 1E-12 + Vo x 1E-14) | 200V |
100nA | 100fA | ±(0.05 + 2E-11 + Vo x 1E-13) | 200V |
1μA | 1pA | ±(0.05 + 1E-10 + Vo x 1E-12) | 200V |
10μA | 10pA | ±(0.04 + 2E-9 + Vo x 1E-11) | 200V |
100μA | 100pA | ±(0.03 + 3E-9 + Vo x 1E-10) | 200V |
1mA | 1nA | ±(0.03 + 6E-8 + Vo x 1E-9) | 200V |
10mA | 10nA | ±(0.03 + 2E-7 + Vo x 1E-8) | 200V |
100mA | 100nA | ±(0.04 + 6E-6 + Vo x 1E-7) | 200V |
1A | 1μA | ±(0.4 + 15E-5 + Vo x 1E-6) | 200V |
典型分辨率 | 6½ 位 | ||
最大电压 | ±200V | ||
最小电流 | 10fA | ||
插槽号 | TH521-35-20 | TH521-35-20C | TH521-35-200 | TH521-35-200C | TH521-35-600 | TH521-35-600C | TH521-35-1800 | TH521-35-1800C |
0 | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU |
1 | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU |
2 | Empty | MFCMU | Empty | MFCMU | Empty | MFCMU | Empty | MFCMU |
3 | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU |
4 | Empty | MCSMU | Empty | MCSMU | Empty | MCSMU | Empty | MCSMU |
5 | HCSMU | HCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU |
6 | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | ||
7 | HVSMU | HVSMU | HVSMU | HVSMU | HVSMU | HVSMU | HVSMU | HVSMU |
8 | ||||||||
9 | Empty / MCSMU (选配HVMCU) | |||||||
10 | Empty / MCSMU (选配HVMCU) | |||||||
插槽号 | TH521-02-20 | TH521-02-20C | TH521-02-200 | TH521-02-200C | TH521-02-600 | TH521-02-600C | TH521-02-1800 | TH521-02-1800C |
0 | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU | GNDU |
1 | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU | MPSMU |
2 | Empty | MFCMU | Empty | MFCMU | Empty | MFCMU | Empty | MFCMU |
3 | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU |
4 | Empty | MCSMU | Empty | MCSMU | Empty | MCSMU | Empty | MCSMU |
5 | HCSMU | HCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU |
6 | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | MCSMU | ||
7 | HPSMU | HPSMU | HPSMU | HPSMU | HPSMU | HPSMU | HPSMU | HPSMU |
8 | ||||||||
9 | Empty | |||||||
10 | Empty | |||||||
