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绕和镀膜两个区域的真空抽气系统组成。 六、卷绕真空镀膜设备的在线测量系统 图14是蒸发舟加热蒸发型卷绕真空镀膜设备镀层厚度测量和闭环控制系统的示意图,把在线检测量到的镀层厚度数…
变蒸发舟的加热功率或卷绕速度来调整镀层厚度。卷绕真空镀膜设备在线测量系统推荐林上LS152真空镀膜在线测厚仪(非接触式膜厚测试仪)。 林上LS152非接触式膜厚测试仪 1.林上…
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